XD 供应激光干涉仪检测服务

1) 线性：0.5ppm .

2) 测量范围：40米（1D可选80米） 

3) 线性分辨力：0.001um.

4) 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 

5) 蕞大范围：800角秒 

6) 滚动角精度：1.0角秒 

7) 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 

8) 直线度蕞大范围：500um 

9) 垂直度精度：1角秒 

10) 温度精度：0.2摄氏度 

11) 湿度精度：5% 

12) 压力精度：1mmHg 

美国API激光干涉仪XD Laser的特点：

1．同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 

2．设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 

3．可选的无线遥控传感器蕞长的控制距离可到25米 

4．可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。 

5．全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 

6．集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间