美国普菲迪-质量流量控制器

PFD-YXK52型质量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装

云南亚鑫凯环保科技有限公司,2018年04月04日成立

PFD-YXK52质量流量控制器，用于自动控制气体流量的添加。

产品特点 ：

通过控制CO2的添加，控制细胞培养基中的pH值
高质量层流差压质量流量传感器，压降小
可使用，所有功能均可通过前面板完成
流量范围从0-500CCM到0-5LPM
通过的比例针阀调节流量，针阀则由微处理器控制
线性精度高，优于3%读数
重复性精度高，优于0.5%读数
可编程流量控制，实现开/关/比例调节
具有脉冲输出，配合加样泵积分仪，可实现流量累积功能
具有自动调零功能，在校准和测量其它气体时更

技术参数 ：

量程：0-5LPM，每步100ml，0-500CCM，每步1ml
校准气体：氮气/空气
精度：3%读数或1位数字
重 复 性：0.5%读数或1位数字
压力限：0.2MPa
电气连接：8电缆（2个DIN连接器）
接口： RS485（可选）
电源：90-240VAC/50-60Hz电源插头，12VDC输出；
             或12V蓄电池供电
认证：CE，满足实验室安全类标准IEC 1010/1
尺寸：170×105×80mm（长×宽×高）
工作温度：0-50℃
工作湿度：0-90%RH（非冷凝）
远程控制：0-10VDC；可选0-20mA或4-20mA

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