Stage-Base 450 主动振动及运动隔离系统

Stage-Base 450 主动振动及运动隔离系统特点：1、采用独特的STACIS技术2、采用可扩展的压电陶瓷致动器3、负载的位置可重复性在微米范围内4、可安装的框架设计5、6自由度6、可选的音圈电机前馈或反馈7、主动隔振从0.6赫兹开始8、快速的调节时间来响应平台运动9、没有气浮支撑10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高

森泉光电是专业从事光电相关领域仪器设备代理与系统集成业务的综合性服务商，专注于光电产品及辅助设备的研发、生产、代理与销售。业务范围涵盖国内各大高校、科研院所及众多zhi 名企业，深受广大用户欢迎。 公司代理和经销的产品种类十分丰富，涉及到激光、光学、光电子、光通讯、微机电、自动化、物理、化学、电子、生物、农业等等领域。可为科研及企业用户提供光学实验及检测的全套解决方案，并提供全面的售前、售中、售后支持与服务。

Active Vibration and Motion Cancellation for Increased Throughput

Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统

    为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的具挑战的要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。 Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统是专门设计用于具有电动x-y平台的半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而大的提高工具产量。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的的主动振动和运动隔离系统。
Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统

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