光束诱导电流成像检测系统

产品用途：通过不同激光波长在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、反射率等特性参数，并通过横向扫描（Mapping）形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布， 为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。

长春博盛量子科技有限公司主要从事光学仪器和器件的开发和制造。公司拥有光电子仪器研发和营销的专业团队，进行不断的创新开发。

产品用途：通过不同激光波长在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征

光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、反射率等特性参数，

并通过横向扫描（Mapping）形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是

晶界和位错分布， 为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依

据。设备可应用于太阳能电池研究，GaAs、InP、GaN 光电子器件的研究。该设

备克服了大面积光照下I-V 测试与单点光谱测试的不对应性和不准确性，大大提

高了光电子器件诊断精度。

产品指标：

（1） 样品尺寸：Max 200×160 mm2，Min 1×1 mm2

（2） 激光波长：532 和 980nm，也可根据材料的光吸收系数而自行选配

（3） 激光光斑：50μm/100μm 可选

（4） 测试电流范围：1 μA–1 mA

（5） 测试模式：LBIC，LBIV，内外量子效率，反射率，扩散长度，均为

mapping成像

（6） 扫描步长：0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、4 mm（可根据实际需要自定

义）

（7） 扫描速度：15 points/s

（8） 可进行单点或连续扫描（mapping）测试

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