aixDBLI双光束激光干涉仪

产品简介

双光束激光干涉仪 aixDBLI(Double Beam Laser Interferometer)双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。这是适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪

公司简介

北京精科智创科技发展有限公司是一家主要是从事精密仪器设备，我们同中国科学院，北京科技大学，清华大学，上海交通大学，北京航空航天大学等建立了合作和研究中心，目前我们主要在安全控制设备，计量检测设备，科学材料研究设备，3D打印及空间技术的研发和销售，我们将同国内的科研机构和高等院校进行更加广泛的合作，服务于国内和国外广大客户，我们将提供优质产品，优质服务，共同开拓进取。

我们为你提供材料表征测量的一系列产品：

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一表征：压电材料d33测量仪
1、ZJ-3型压电测量仪

2、ZJ-4型d33测量仪

3、ZJ-5型积层压电测试仪

4、ZJ-6型静压电d33/d31/d15测量仪

5、ZJ-7型高温压电测试仪

★压电极化装置

1、PZT-JH10/4压电极化装置（10KV以下压电陶瓷同时极化1-4片）

2、PZT-JH10/8压电极化装置（10KV以下压电陶瓷同时极化1-8片）

3、PZT-JH20/8高压电极化装置（20KV以下压电陶瓷同时极化1-8片）

4、PZT-FJH20 /3高压真空，空气极化装置（20KV以下压电陶瓷及压电薄膜1-3片试样）

★ 压电制样装置

1、ZJ-D33-YP15压电陶瓷压片机（压力范围: 0--15T，0-24T，0-30T，0-40T2

2、ZJ-D33-SYP30电动型压电陶瓷压片机（压力范围: 0--15T，0-24T，0-30T，0-40T）

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第二表征 铁电材料测量系统及电滞回线测量系统

1、ZT-4C型综合铁电测量系统

2、JKZT-10A铁电材料综合参数测试仪

3、JKGT-G300高温铁电材料测量系统

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第三表征 热电材料分析测量系统及塞贝克系数测试仪

1、BKTEM-Dx热电性能分析系统

2、BKTEM-Dx热电器件性能分析系统

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第四表征 介电材料测试系统

1、 常温介电测量系统，常温介电材料测试仪

2、 高温介电测量系统，高温介电材料测试装置

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第四表征磁性材料测试系统

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产品说明

双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能：
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试：
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
测量范围：5pm- +/- 25nm
波长：632.8nm
位移/应力测试：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可选到200V）
压电d33系数：
基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V测试：
基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）