晶圆缺陷检测系统LODAS

晶圆缺陷检测系统，半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。

欧屹科技，是以激光、光电仪器、电子封装设备为核心业务的专业代理经销商和服务商，欧屹科技以多年的行业经验，
为客户引进国内外先进的激光器、光电器件、光电仪器、光电系统、电子封装设备等高精尖仪器设备
其中高功率半导体激光器，微光学透镜，划片机，
应力双折射测试仪尤其受到客户的赞许。
另外，欧屹科技以专业的技术支持和售后服务；丰富国际贸易经验为广大用户提供广泛的支持，
我们正尽最大努力把欧屹科技建设成为值得您信赖的公司

列真公司在半导体光罩检测设备上积累了独自技术， 主产品 LODAS ™系列具有日本专利权的激光检测技术，可同时探测收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测最小缺陷为100 纳米，主要用于半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。将此项技术运用于第三代半导体材料的缺陷检查，将提升量产成品率将具有重要意义。

应用: SiC、GaN 

        半导体光罩（石英玻璃与涂层）、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        蓝宝石衬底、

        EUV光罩、

        光罩防尘膜

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