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价格:电议
所在地:河南 郑州市
型号:KT-Z1650CVD
更新时间:2023-02-28
浏览次数:752
公司地址:郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
邱迎迎(女士)
桌面小型蒸镀仪
工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;
-
原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
-
衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;
- 保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;
不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面小型蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 |
数字式功率调整器 |
镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最大功率 |
≤1200W |
最大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
真空度 |
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 |
电控 |
真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 |
可旋转φ62 (最大可安装φ50基底) |
样品台转速 |
8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 |
机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa) |