提交询价信息 |
发布紧急求购 |
价格:电议
所在地:河南 郑州市
型号:KT-Z1650PVD
更新时间:2023-02-28
浏览次数:738
公司地址:郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
邱迎迎(女士)
水冷型溅射仪,KT-Z1650PVD,是一种紧凑型全自动溅射镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。.
•高性能溅射、碳涂层和等离子处理
•获得的碳线轴–最多50个碳涂层,无需用户干预
•独特的即插即用溅射和碳涂层模块
•真空性能和快速泵送时间
水冷型溅射仪,技术参数;
控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 |
直流溅射电源 |
镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 |
≤1000W |
输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
真空 |
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 |
≤30Pa |
挡板类型 |
电控 |
真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 |
可旋转φ62 (可安装φ50基底) |
样品台转速 |
8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
真空测量 |
皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) |
预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |