产品简介
椭圆偏振测厚仪仪器介绍:椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。
公司简介
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产品说明
椭圆偏振测厚仪仪器介绍:
椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB2.0接口与电脑连接,软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。
椭圆偏振测厚仪规格参数
测量范围 薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度最小示值(nm) ≤1
偏振器方位角范围 0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角 0.014°/步
测量膜厚(nm) ±1
折射率重复性精度 ±0.01
入射角调节范围 20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm) 632.8
光学中心高(mm) 80
允许样品尺寸(mm) φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm) 590*390*290
主机重量(kg) 25
椭圆偏振测厚仪配置表
基本配置
椭圆偏振测厚仪主机 1台
主机电控箱 1套
二氧化硅膜样片 1片
椭圆偏振测厚仪专用软件 1套
需另配 计算机及打印机 1套
椭圆偏振测厚仪
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