ZY-Trr1123 功率半导体标准动态特性测试系统

功率半导体标准动态特性测试系统主要完成功率器件的开通特性、关断特性以及极限关断特性参数的测试。

西安智盈电气科技有限公司成立于2019年，公司地处西安市西咸新区秦创园国家高新技术开发区，本公司是一家集科研开发，生产经营，技术服务为一体具有自主知识产权的高新技术企业。公司技术工艺，检测手段完善，拥有一批长期从事电力电子技术，自动控制系统与应用，感应加热技术，微电子技术基础建设等研究开发的高级工程师和技术人才，实力雄厚，多项产品在行业中处于地位。已通过ISO9001质量管理体系认证，产品广泛应用于半导体器件研发，电力，铁路交通，新能源汽车，石油，化工，环保电子等行业，公司生产的主要产品有功率半导体器件及组件的检测设备及工艺设备等。公司还致力于发展系统工程，程序控制。新能源开发及应用等新技术产业，公司具有较强的技术开发能力，可根据用户和市场的需求，提供技术方案，技术咨询，专业培训与服务，奉行技术创新，诚信服务愿与国内外同行及用户真诚合作共同进入高科技的新时代。

通过我们自己研发的各种产品，比如像半导体器件测试仪，加快了半导体各类材料、半导体器件和工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析；诸如IGBT静态参数测试系统、IGBT动态参数测试系统，它们可以满足对IGBT的大电流、高电压的测试要求，是检测半导体器件的关键设备；还有像雪崩能量测试仪、晶闸管电参数测试仪、二极管电参数测试仪、功率模块可靠性测试仪、模块高温阻断试验设备等产品，做的也是相当的出彩，这就是我对我们的产品十分的有信心，这就是我们团队所有的力量。质量是企业长远生存的根基，是企业竞争的免死，质量在心中，责任在肩上，诚信在言行中，相信我们国标标准，控在品质！

多年来，公司与时俱进，产品销往全国各地，据不完全统计，有深圳华为技术有限公司、苏州华为技术有限公司、深圳比亚迪股份有限公司、深圳华科智源科技有限公司、广东慧核工业器材有限公司、安徽长飞半导体有限公司、天津中科方德科技有限公司、江苏扬杰半导体有限公司、新飞宇电子科技有限公司、扬州国宇电子有限公司、国网电力科学研究院有限公司、大连东芝电力机车、清华大学、南京大学、华北电力大学等一些国有大型企业与之合作，经过我们的不时努力和追求，也博得了众多企业的认可和好评。追求永不停步，创新永无止境，为取得长足发展，公司会以优质的产品、前沿的技术和周到的服务来回馈用户，为社会的科技进步作出贡献！

核心业务为半导体功率器件测试设备的研制生产，参数测试设备：

可控硅/晶闸管（参数测试设备：

静态参数测试；动态参数测；浪涌参数测试；老化可靠性测试（高温阻断）；热阻参数测试。

MOSFET参数测试设备：
静态参数测试（包括IGSS / BVR / VDS（Sat） / IDSS / VGSTH / VF / RDS（on））；动态参数（开通关断/反向恢复/短路/安全工作区）测试（包括Turn_on&off / Qrr_FRD / Qg / Rg / UIS / SC / RBSOA 等）；雪崩能力测试，老化及可靠性测试（HTRB / HTGB）。
IGBT参数测试设备：
静态参数测试（包括IGE / VGE(th) / VCEsat / VF / ICE /

功率半导体标准动态特性测试系统

主要完成功率器件的开通特性、关断特性以及极限关断特性参数的测试。

本技术规格书ZY-Eon适用于IGCT功率半导体标准动态特性测试台（下面简称测试台），规定了测试台的主要技术要求，参数范围，操作流程，试验方法及检验规则等。

本技术规范并未对一切技术细节做出规定，所提供的货物应符合工业标准和本技术规范中所提要求。

1.         引用标准[滨1]

GB/T 15291-2015 半导体器件 第6部分：晶闸管

JB/T 7624-2013 整流二极管测试方法

JB/T 7626-2013 反向阻断三极晶闸管测试方法

以及国标、IEC、IEEE相关标准，以上标准均执行最新版本。如本技术规范与上述各标准之间有矛盾，则应满足较高标准。

功率半导体标准动态特性测试系统

2.         技术要求

序号	项目		参数	备注
1	常规开通	通态电流	范围：200-10000A，连续可调；
		主电容电压	范围：300-7000V，连续可调；
		最大导通电流宽度设定范围	10μs-5ms
		上升时间测量范围	0.01-20μs±3%±0.05μs
		开通反馈延迟时间测量范围	0.01-20μs±3%±0.05μs
		开通延迟时间测量范围	0.01-20μs±3%±0.05μs
		开通能量测量范围	0.01-200J±3%±0.1J
		开通di/dt测量范围	10-5000A/μs±3%±10A/μs
2	常规关断	最大关断电流	范围：200-10000A，连续可调；
		关断反馈延迟时间测量范围	0.01-20μs±3%±0.05μs
		关断延迟时间测量范围	0.01-40μs±3%±0.05μs
		关断能量测量范围	0.01-1000J±3%±0.1J
		断态电压上升率测量范围	10-5000V/μs±3%±10V/μs
		断态电流下降率测量范围	10-10000A/μs±3%±10A/μs
		*主回路寄生电感	≤300nH
3	极限关断	最大关断电流	范围：＜20000A；	设备能力
4	数据采集和处理单元	示波器	带宽不低于500MHz，采样率不低于6.5Gs/s
		试品控制方式	光纤控制

2.1.         自动恒温压力夹具

序号	项目	参数	备注
1	工作方式	自动，气动
2	压力范围	10～130KN；分辨率0.1 KN，精度±5%±1KN。
3	温度控制范围	70～180℃，分辨率0.1℃；	高压阳极控温器采用非接触式测温

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