ZL zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller，半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能

成都中冷低温科技有限公司是一家创新型高科技企业，拥有一支专业知识扎实、实战经验丰富的年轻团队，主要成员来至于国内外知名学府或科研院所。公司专注于低温领域，提供常温到-200℃的全套温度解决方案，主要生产工业冷水机组、低温制冷机、深冷水汽捕集泵、高低温循环测试机、太空模拟仓，产品应用于化工、石油、生物、制药、真空镀膜、电子通讯、电池包测试、集成电路等领域。

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

温度范围：-20°C~+90°C

控温精度：±0.1℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

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