性能指标:
光学系统规格
物镜 目镜 显微镜 工作
距离 视场
直径
放大倍数 焦距 放大倍数 焦距 放大倍数
2.5×/0.08 43.40 10× 25.00 25× 58.84 5.6
10×/0.25 17.13 100× 7.81 1.6
测量工作台读数装置主要规格
X轴遇到测量范围50nm
Y轴遇到测量范围13nm
测量器分度值:0.01nm
测量台转动范围不限:NO limit
测量台刻度盘分度范围:0°~360°
测量台刻度盘之分度值:1°
测量台刻度盘游标读数示值:6’
测量精度:
仪器示值误差:± (4+L/15)μ m
仪器示值误差:包括测量误差和系统误差
注:测量地点温度变化20℃ ±3℃,L--被测件长度