WH-SC-01 匀胶机旋涂仪

WH-SC-01 匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用，其总体设计由汶颢股份开发完成，是具有 知识产权的高新技术产品。 匀胶机快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。

苏州汶颢微流控技术股份有限公司是一家留学人员回国创业的高新科技企业，集研发、生产、销售为一体，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心，配置了三条微流控芯片生产 线，包括数控CNC微加工仪器，软刻蚀有机芯片加工系统，光刻-掩模无机芯片加工系统，可以加工生产所有材质的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种，以及各类科研类芯片，并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，申请国家专利89项，其中授权20余项，已经获批注册商标2件，软件著作权7件，江苏省高新技术产品3项，建立企业标准5项。

苏州汶颢微流控技术股份有限公司提供的产品和服务按市场可分为科研类芯片、仪器标配芯片、应用类芯片及系统和芯片实验室解决方案。科研类芯片服务于基于微流控芯片的科研工作者，提供包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、玻璃及硅基等各种不同材质的微流控芯片的设计与制备，用户只需配置必要的辅助设备即可使用；仪器标配芯片是针对国内市场上微流控芯片仪器开发的标准芯片，为微流控芯片仪器的核心组件，属耗材类产品，如毛细管电泳芯片；应用类芯片及系统是利用微流控芯片的技术优势开发的分析检测装置，应用于环保、食品安全、药物筛选等领域；芯片实验室解决方案为客户提供完整的一对一的微流控芯片科研或应用的解决方案，分为产品和科技咨询两个方面：产品包括微流控芯片加工、检测仪器设备配置及微流控芯片配件配置；科技咨询为客户提供组建芯片实验室的整体方案、解决微流控芯片应用中的技术难题、微流控芯片项目研发服务等。

  按照现代公司制度规范运作企业是公司创办伊始就秉承的基本理念，目前，公司的团队结构、人事制度、财务制度、知识产权制度等都已经逐步形成和完善。公司的口号：高品质、高信誉、高效率。公司的宗旨：以发明创新为龙头，以科技成果转化为手段，以微流控芯片领域为主战场，走科研成果商品化，商品产业化，产业规模化和国际化的道路，以自主创新的核心技术为基础的竞争战略为企业长期发展战略，整合产业链的各项优势资源，打造以自主创新为企业特色的产业价值链，塑造民族品牌，迎接国际化的挑战。

1.台式匀胶机旋涂仪产品简介

WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司开发完成，具有知识产权。

匀胶机快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制，三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至高速下进行甩胶，转速及相应的时间分别可调；实现启停可控，转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮，当进行高速运转时，关上上盖后，“安全开关”启动，运行过程中，上盖不能打开。可以起到保护作用。

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2.台式匀胶机旋涂仪技术参数

² 转速：300-4500RPM

² 时间控制：1--32767s

² 转速稳定性：±1%

² 胶的均匀性：±3%

² 参数设定：触摸屏设置参数

² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶

² 电源输入：AC220V±10V,50HZ

² 功率：60W

² 重量：13kg

² 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

² 工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80%

3.台式匀胶机旋涂仪特征图解

①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关

4.台式匀胶机旋涂仪操作说明

（1）选择合适的专用吸附盘（略小于样本尺寸），将缺口对准螺钉安装，吸附盘安装时一定要插入到底。

（2）开启电源，进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间，按工艺设置好转速和时间，点击“确定”。

（3）进入启动仪器界面，放片，要注意放正。打开真空泵，点击“吸盘”后点“启动”，仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。

（4）滴胶，动作要快。在一阶段运转时间内滴胶完毕，关上上盖；随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后，安全开关启动，必须等到仪器停止运行，上盖才能被打开。

（5）电机停转后，点击脱盘，吸片停止。打开上盖，取下片子。

（6）继续匀胶时重复以上步骤。

（8）匀胶结束后，关上上盖，切断电源。

5.台式匀胶机旋涂仪维护清洗

属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗

1.正常使用半个月的；

2.胶被吸入抽气室的；

3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

6.台式匀胶机旋涂仪常见故障排除

下列故障非本机故障，用户可参考自行解决，若仍不能排除故障，请及时拨打本公司服务热线：，本公司将竭诚为广大用户服务。

故障现象	原因	排除
电机不转	1.电源线没插好	插好电源线
	2.保险管熔断	换用同规格新的保险管
硅片没吸住	1.吸气管未插	插好吸气管
	2.真空泵没开	打开真空泵

台式匀胶机旋涂仪安全注意事项

拆开包装后，请按照装箱单详细检查配件，如有缺失，请联系销售商。注意必须将所有包装和泡沫垫卸下，否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。

操作前请详细阅读本说明全部内容，并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失，制造商将不予承担。

(1) 安置本仪器的桌（台）面应坚实平整，四只橡胶脚垫应与桌（台）面平稳接触，否则会产生仪器不平稳，从而导致超标准的震动，致使器件损伤或仪器停止运行。

(2) 仪器工作时，操作人员不得倚靠在仪器上，非工作人员不得在非安全空间内逗留，匀胶机周围不得放置危险物品。

(3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室，导致气路堵塞。

(4) 如果不慎胶被吸入了抽气室，要立刻进行清洗，否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。

(5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片，故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。

(6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系，切勿自行打开机壳。严禁非专业人员维修，维修时必须先拔下电源插头，防止事故发生。

无油真空泵：又称干式真空泵，是泵的工作腔内没有任何介质，可以原汁原 味的回收气体。

 无油真空泵技术参数：

 1）型号：AP-550V 

2）抽速：1.5 升/秒 

3）功率：320W 

4）噪音：58db 

5）电压、频率：~220V/50HZ 

6）zui低真空度：-700mmHg 

7）重量：5.8kg 

8）外形尺寸：240×130×200mm

注：清点包装箱内的附件和印刷资料，箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。

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