URE-2000A 光刻机

光电URE-2000A型光刻机

苏州汶颢微流控技术股份有限公司（原名：苏州汶颢芯片科技有限公司）是一家留学人员回国创业的高新科技企业，集研发、生产、销售为一体，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心，配置了三条微流控芯片生产线，包括数控CNC微加工仪器，软刻蚀有机芯片加工系统，光刻-掩模无机芯片加工系统，可以加工生产所有材质的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种，以及各类科研类芯片，并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，拥有81项知识产权，其中：已申请发明专利65件、实用新型专利7件，注册商标2件，登记软件著作权7件。

光刻机产品名称：

光电URE-2000A型光刻机

光刻机产品特点：

◆ 曝光面积：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）

◆ 对准精度：0.6μm

◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）

◆ 掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞灯功率：1000W（直流）

◆ 曝光设定方式：定时（方式0.1s-999.9s任意设定）

◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

 

光刻机技术参数 配置:

（1）曝光头

◆冷光椭球镜

◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1

、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片

、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

◆循环水冷系统

（2）对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片调焦机构，自动调

◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

◆光源（配备品2只）、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）CCD对准系统

◆光源（配备品3只）、电源

◆成像光学系统

◆数据采集卡

◆CCD

（5）电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)

（6）气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

（7）其他附件

◆真空泵一台（无油泵）

◆空压机一台（静音泵）

◆管道

（8）技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书

 

 

本页产品地址：http://www.yi7.com/sell/show-8230733.html