π 2 -CYGNI 美国实验室光刻系统

美国实验室光刻系统使用的172nm 的波长。不需要传统的光刻胶，对几乎任何的有机聚合物材料都可以光刻。不需要传统的涂胶、烘烤、曝光、显影、清洗等的流程和时间。高分辨率、高强度、率、低成本。在实验室就可以实现光刻，而无需到半导体工厂，使用大型和昂贵的刻蚀机。操作简单，几乎无需培训。

华贺公司是一家为企业及科研客户提供测试测量解决方案的高新技术企业。致力于国内外电子测试测量领域产品的交汇整合，集研发、生产、销售为一体，在所涉足的技术和行业领域，以客户的应用为出发点，向客户提供从产品到系统的全面和增值的解决方案。

华贺的核心业务包括：

• 为客户提供测试测量技术咨询，以及恰当的测试方案
• 各种测试设备及相关器材的供应
• 软硬件系统集成服务
• 测试测量产品的设计开发
• 产品的维修、校准服务

美国实验室光刻系统(Photo-Lithograghy)

 

品牌名称：Cygnus（小天鹅）

系统名称：π 2 -CYGNI

品牌口号：Smallest lab in the world

可提供项目：

• 系统销售

• 光刻服务

• 掩膜板销售

• 样机展示、培训

美国实验室光刻机简述：使用的172nm 的波长。不需要传统的光刻胶，对几乎任何的有机聚合物材料都可以光刻。不需要传统的涂胶、烘烤、曝光、显影、清洗等的流程和时间。高分辨率、高强度、率、低成本。在实验室就可以实现光刻，而无需到半导体工厂，使用大型和昂贵的刻蚀机。操作简单，几乎无需培训。

特点：

• 新一代真空紫外(VUV)光源波长：170nm

• 输出强度高: 7.2eV/光子

• 高光输出均匀性： 3%

• 灯寿命长: 曝光可达30,000次

• 不要超净间、无需复杂昂贵的光学平台

• 操作简单、快速

• 体机小巧

美国实验室光刻机目标实验室：大学、科研院所，进行芯片、传感器、电路研究的如下实验室

• 半导体材料和工艺研究

• 物理：微机电、纳米、存储、芯片研究、传感器

• 化学：材料研究，刻蚀、光刻、清洗

• 光电

• 材料科学

• 生物：微流控，生物芯片

• 医学：微流控，生物/医学芯片

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