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失效分析漏电微光显微镜分析仪emmi电流异常定位

仪准科技（北京）有限公司

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所在地：北京

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更新时间：2023-11-10

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产品简介

失效分析漏电微光显微镜分析仪emmi电流异常定位漏点定位

公司简介

IC失效分析 Decap，X-RAY，IV，EMMI，FIB，SEM，EDX，Probe，OM，RIE

专业从事电子产品分析测试设备研发、生产、销售，以及国外**设备代理,探针台probe 开封机decap 微光显微镜emmi 红外显微镜 iv自动曲线量测仪失效分析可靠性测试FIB,切割研磨机rie，电子显微镜sem等

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产品说明

失效分析漏电微光显微镜分析仪emmi电流异常定位漏点定位

主要用途

当氧化层崩溃、静电放电破坏、闩锁效应时，产生了过量的电子和空穴结合并产生跃迁光子，由探测器通过显微镜收集这些光子并地定位出其位置，通常这个位置就是存在异常的缺陷位置。

性能参数

a)InGaAs检测器，分辨率：320*256 像素；

b)侦测波长范围900nm - 1700nm

c)像素尺寸：30um x 30um

d)曝光时间 20ms - 400s

e)放大倍率：25x, 50x, 200x ,1000x

f)Back side EMMI

应用范围

1.P-N接面漏电

2.饱和区晶体管的热电子

3.P-N接面崩溃

4.闩锁效应

5.氧化层漏电流产生的光子激发

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